摘要: 本文是JLH-1型氦气质谱检漏仪研究试制工作的一个总结。文中着重总结了该仪器的试制工艺、安装和试验调整的一些经验,对该仪器中几个重要部件的关键问题作了一些说明。最后,对仪器的结构设计提出了一些改进意见。试验结果表明,本仪器的灵敏度已达到10~(-6)微米·升/秒级的水平。