自撑金属钒薄靶的真空沉积技术

  • 摘要: <正> 钒是一种光亮的银白色金属。由于它的熔点高达1697℃,蒸发点为1880℃,要制成这种金属的自撑薄靶是有一定困难的。我们采用真空沉积法制成了直径18毫米、厚约25—60微克/厘米~2的自撑靶。

     

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