摘要: 背散射是物质表面分析的一种有用工具。本文简要介绍了背散射的原理和常用的分析方法,给出了用背散射技术测量金属和非金属厚度、分析硅中掺砷含量、测量Si_3N_4样品的化学配比、分析离子注入样品、测量氯元素在二氧化硅中的深度分布等实验结果。