摘要: <正> 利用反应堆对单晶硅进行中子辐照,实现单晶硅掺磷是七十年代发展起来的一项新的掺杂工艺,称为中子嬗变掺杂(简称NTD)。用NTD硅来制备核辐射探测器目前国内外都十分关注。高纯高阻硅单晶的发展相对说来比较缓慢,主要是在提纯和晶体生长工艺中遇到了很大的困难。目前用区熔法很难得到ρ高于30 kΩ·cm且均匀性较好的N型硅单