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均匀场能谱分析仪的能量刻度

THE ENERGY CALCULATION METHOD OF AN ENERGY ANALYZER WITH UNIFORM FIELD

    摘要
  • 摘要: <正> 均匀场能谱分析仪常用来测量离子束的能量。在实际工作中常发现,根据加工后分析仪的场分布测量结果所确定的有效边界与理论设计值不一致,此时需对分析仪的能量刻度作重新校正。文章给出在一级近似下这种校正的计算公式。

     

    Abstract: The energy calculation formula of an energy analyzer with uniform magnetic(or electrostatic)field is given,according to its measured field distribution

     

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