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Ge薄膜X光激光靶的研制

Soffware Important to Safety in Nuclear Power Plants

    摘要
  • 摘要: 针对Ｇｅ薄膜应力较大的特点，采用热蒸发方式制备Ｇｅ膜。研究了不同脱膜剂和基片温度对Ｇｅ膜结构的影响。采用新的反粘脱膜工艺，制备出了比较满意的Ｇｅ薄膜靶。

     

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