摘要: 计算了真空蒸发制备薄膜时造成衬底温度升高的热量—蒸发源的辐射热和沉积时的冷凝热。总结了制备金属化有机膜时防止衬底软化的各种方法，包括提高蒸发距离、降低沉积率、减少蒸发源尺寸和采用挡板等。