摘要: 文章简述了Ｃｕ（或Ａｎ）－Ｆｏｒｍｖａｒ－Ａｌ－Ｆｏｒｍｖａｒ多层靶的制备工艺。其工艺过程是：先在载玻片上蒸镀Ｃｕ（或Ａｕ），再涂Ｆｏｒｍｖａｒ膜，脱膜装靶后再蒸镀Ａｌ。由于Ｆｏｒｍｖａｒ只受一次热蒸发，制备出了平整度满足要求的激光多层靶。