摘要: 分参数测量Ａｌ衰减膜的质量厚度和氧化层后，通过计算得到了Ａｌ膜的透过率。为检验计算结果的正确性，在北京同步辐射软Ｘ光反射率计装置上进行Ａｌ衰减膜透过率的直接测量。二者的结果在最大偏差１１％范围内符合。