摘要: 现代微加工技术是制备具有微米、亚微米甚至纳米结构器件的重要手段。文章介绍了现代微加工工艺中的薄膜技术、图形技术以及刻蚀技术，根据核靶技术的发展，阐明了现代微加工技术在核靶制备领域的广阔应用前景。