摘要: 介绍了永磁端引出溅射ＰＩＧ离子源的进展状况，通常它可用于引出气体的与金属的单或多电荷离子，在２０－３０ｋＶ的引出电压下，可引出ｍＡ级的气体离子和数十微安的金属离子，功耗小于５０Ｗ。同时也可用于直接引出某些电子亲合势较强的气体元素，如Ｈ、Ｏ、Ｆ等的负离子。当采用ＬａＢ６阴极，在１５－２０ｋＶ的引出电压下，引出的总束流中，Ｈ－离子＞５０μＡ，０－离子接近１．４ｍＡ和Ｆ－离子可达１．８ｍＡ，功耗分别为４０、５０和７５Ｗ左右。