摘要: 研制了１种用在离子束细胞刻蚀装置中的小型腔式微波离子源，它由石英放电管、同轴谐振腔和封装在管一端的二电极引出系统组成。该源由同轴腔激发起的表面波在石英管内产生等离子体柱。为了提高柱末端等离子体离子引出流密度，选用了在内径７．０ｍｍ直管的一端加上一内径５．０ｍｍ衬管的放电管。在微波频率为２．４５ＧＨｚ，输入功率为９３Ｗ下，氮的引出流密度分别为４８．４ｍＡ／ｃｍ２和９１．７ｍＡ／ｃｍ２。这种表面波放电等离子体源体积小、结构简单，可在较宽的压强范围内产生重复性好、工作稳定的等离子体柱。