HI-13 串列加速器重离子扫描辐照装置
OPENTUBE DIFFUSIVE TECHNIQUE OF SEMICONDUC TOR DEVICE
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摘要: 介绍了HI-13串列加速器重离子扫描辐照装置的研制结果。其技术和工艺有如下特点:(1)能对100—200MeV能区的重离子进行扫描;(2)采用二维(x,y)扫描方式;(3)小巧紧凑的扫描磁铁;(4)特制的磁极内陶瓷束流管道;(5)使用了三角波扫描磁场电源;(6)紧凑精密的扫描靶室和辐照传动靶室。该装置可满足核孔膜高级滤材、大功率快速电子器件改性以及生物样品等重离子均匀辐照的需要。