摘要: 研究了小型腔式微波离子源的表面波放电模型。当考虑了放电管几何参量及放电参量（如压强、气体流量、微波频率等）的影响时，对低气压下的等离子体柱轴向密度分布曲线和色散特性进行了较为系统的理论描述。数值计算结果发现，放电管参数γ＝１＋ｄ／Ｒ（ｄ为管厚，Ｒ为等离子体柱半径）、介电常数εｄ和气体流量及方向对密度分布曲线影响十分显著。ＡＳｏｌａ及ＳＤｖｌａｕｄ测得的表面波产生等离子体柱轴向密度分布与计算结果一致。用该理论模型预测了这种表面波离子源的放电结果。