扫描电子显微镜测量靶丸表面形貌

  • 摘要: 介绍了用扫描电子显微镜监测靶丸4π表面形貌的方法。为此研制了对惯性约束聚变靶丸4π搓动的扫描电子显微镜样品台,对靶丸的旋转精度为2 μm 。它提供了观察靶丸缺陷的最佳方法,可为惯性约束聚变实验精选靶丸。

     

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